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かねつほうしき
P type加熱 • 吹き出しパネルの設定 • オリフィス内熱風加熱 • 温域両側熱風回収 | X type加熱 • 吹き出しパネルに小円ノズルを追加 • ペレットノズル内熱加熱 • 各小円ノズル周囲の熱風回収 |
PtypeとXtypeの加熱能力比較
断熱構造1/2
• だんねつせいのう
• COST
• 長期使用構造
断熱構造2/2
ひょうめんおんど
窒素ガス供給量
窒素ガスの消費量、大幅削減：180 L/min（250 ppm以下）
• 新たに開発した炉体構造により、窒素ガスのオーバーフロー低減を実現
• 独立した制御可能なモータにより、熱風の循環圧力/流量の最適化を実現
• 連続した基板投入時にも安定した酸素濃度を得ることができる
• 酸素濃度制御システムは、N 2の流量を自動的に制御する
基本構成
断面構造
• 上下同じ加熱手段、温度・風量は個別に設定制御でき、各種条件の温度曲線は対応できる。
• 熱電結合線はパネル上にあり、熱風温度を直接測定する。（設定値＝熱風温度）
• 上部ファンは上下に循環することができます。
• 下部水冷放熱器、強力で効果的で安定した冷却能力を確保する。
ほしゅせい
• ツール不要
• FLUX集中回収
操作性1/3
操作画面17インチLCD
• 画面が一目でわかる
• 固有のシステムを継続し、新しいマシン導入時のトレーニング時間を短縮
各種基板の写真や文書を保存できる（JPG関連フォーマット）
• 品目切り替え時の製品確認及び注意・特記事項の確認
スキャンコード連絡
