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2つの温度曲線＝2種類の基板生産
ツインルーム紹介
• 設備実用空間
• メンテナンス、メンテナンスの利便性
炉体全体の昇降設計を採用し、内側炉体のメンテナンス、メンテナンスの利便性と効率を向上させる
• デュアルレール還流炉設備構造
• デュアルチャネル還流構造
• 検証内容：隣接する異なる炉内温度実測比較
• 検証結果：異なる炉内温度干渉実測温度曲線
スキャンコード連絡
